2017年上海等离子体纳米技术产业发展研讨会在校召开

2017-12-13

12月8日上午,受上海市纳米科技与产业发展促进中心、上海市纳米技术协会、中国力学学会等离子体科学与技术专业委员会委托,由东华大学承办的“2017年上海等离子体纳米技术产业发展研讨会”在东华大学延安路校区隆重举行。上海市纳米科技与产业发展促进中心副主任费立诚先生致欢迎辞,开幕式由本次研讨会筹备组组长张菁教授主持。

低温等离子体技术是IC产业硅基光电材料与器件加工的关键技术,包括微纳米器件的刻蚀、薄膜沉积、以及元器件的封装等。由于其高效、低能耗、环境友好等独特的优势,在新材料、新能源、环境污染治理、生物医学等方面具有广泛应用。

本届研讨会邀请了高等学校、研究院所、工业界从事等离子体纳米技术领域研究与开发的专家学者做会议报告,来自包括中国科学院等离子体物理研究所、北京大学、复旦大学、上海交通大学、中国科学技术大学、东华大学、苏州大学、北京印刷学院、中微半导体设备有限公司等国内数十家高校、科研机构与企业的40多名专家、学者,以及东华大学新能源与材料交叉学科平台的研究生代表济济一堂,交流、探讨等离子体纳米技术及应用领域进展,展望产业未来的发展方向。

本届研讨会共组织了5场学术报告与1场交流讨论,研讨了先进等离子体源与技术及其在纳米技术产业中的应用,加强了政府、高校、研究院所、企业界的在等离子体科技与纳米技术交流与合作,不断凝炼等离子体科学与技术在纳米产业的重要研究与应用方向,推动相关科技与产业技术的发展。